無塵車間的兩大分類

        第一類為亂流式(Turbulent Flow)： 空氣由空調箱經風管與無塵車間內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由無塵車間兩側隔 間墻板或高架地板回風。 氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級 1,000-100,000 級。

        優點：構造簡單、系統建造成本低，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。 缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止 運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

        第二類為層流式(Laminar)： 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率 100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需求較高之環境使用，一般其潔凈室等 級為 Class 1~100。其型式可分為二種： (1)無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風， 塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

        優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。 缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。 (2)無塵車間垂直層流式：房間天花板完全以 ULPA 過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較 高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。 優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。 缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較 麻煩。 3.復合式(Mixed Type)： 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。 (1)無塵車間潔凈隧道(Clean Tunnel)： HEPA 或 ULPA 過濾器將制程區域或工作區域 100% 以 覆蓋使潔凈度等級提高至 10 級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI 制程大都采用此 種型式。潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。 (2)無塵車間潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈 度等級提至 100 級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之 潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業 界均適用。 (3)無塵車間并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級 10,000~100,000 之亂流潔凈室內之 產品制程區的潔凈度等級提高為 10~1000 級以上，以為生產之用；即屬此類。 潔凈工作臺：等級 Class 1~100 級。 潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立 之 HEPA 或 ULPA 及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為 10~1000 級，高 度在 2.5 米左右，覆蓋面積約 10M2 以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。

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